氣體流量控制器主要基于熱工作原理，壓差工作原理和科里奧利工作原理，采用對應于溫度的變化。質量流量原理可以測量和控制不同氣體的流量。因此，氣體質量流量控制器在工業中被廣泛使用。作為一種相對精密的儀器，如果您希望儀器具有相對較長的使用壽命，這離不開我們在使用過程中做好維護工作，也要保留記錄。使用一段時間后，需要定期拆卸氣體質量流量控制器以清潔內部氣體回路，并檢查是否有損壞部分;檢查氣體質量流量控制器的管子剛性是否不足，以免在運行過程中產生振動；清理氣體質量流量控制器內部和外部的污染，以免損壞密封表面；可以測試質量流量控制器的壓力和流量范圍：各種質量流量控制器都有固定的檢測壓力和流量范圍。只有在測量范圍內完成測量后，質量流量控制器才能正確測量。流量計校準和檢測與其他分析和測試儀器相同，均以相對比較法進行測量。因此，氣體質量流量控制器的零位校準和儀器的定期校準都是確保儀器測量準確性的所有必要任務?？傊?，當我們使用時，我們需要仔細的維護。一旦儀器出現故障，可以及時找到原因。當我們應該注意時，一旦儀器出現故障，我們會嘗試尋找原始的氣體質量流量控制器制造商進行維修以減少損失。
 

　　如果發現氣體流量控制器在運行過程中無法正常工作，請首先檢查以下各項：

　　1、接線錯誤。此時，您需要檢查電源，控制反饋信號，控制地等是否已連接到布線定義。要求是一致的；

　　2、訂購時氣體分布和出口壓力是否與壓力范圍一致；

　　3、配氣管道是否堵塞或瓶頸是否彎曲；

　　4、所用氣體是否干燥清潔，是否有雜質，是否有油，氣等容易污染的雜質；

　　5、控制反饋信號是否滿足產品使用范圍，例如，當關閉時，模擬控制信號應設置為0V。

　　上述問題，如果是接線問題，如果氣體流量控制器的內部電路板未損壞，則在更換接線后它可以正常工作。如果電路板損壞或控制器內部傳感器存在污染問題，請盡快返回制造商進行進一步分析和維護。